Жанр: Технические науки, Техническая литература
Теги: #книги для студентов и аспирантов, #инженерно-техническая деятельность, #нанотехнологии, #наноэлектроника
В книге дан анализ современного состояния и тенденций развития вакуумной микро- и наноэлектроники. Рассмотрены физико-химические основы процесса создания нового класса автоэмиссионных наноструктур на базе нанопористого анодного оксида алюминия. Приведены результаты исследований их геометрических параметров, элементного состава и эмиссионных характеристик. Представлена принципиально новая интегральная технология создания наноструктурных автоэлектронных микроприборов и систем их межсоединений на основе тонких пленок вентильных металлов и их анодных оксидов. Изложены физические основы процедуры моделирования и расчета характеристик этих микроприборов. Приведены их экспериментальные и расчетные характеристики. Предназначается для научных и инженерно-технических работников, аспирантов и студентов старших курсов, специализирующихся в области физической электроники, микро- и наноэлектроники.
На нашем сайте вы можете скачать книгу "Автоэмиссионные наноструктуры и приборы на их основе" Николай Татаренко в формате pdf, читать книгу онлайн или купить книгу в интернет-магазине.
