Жанр: Учебная, методическая литература и словари, Учебники
Теги: #книги для студентов и аспирантов, #нанотехнологии, #научные материалы, #наноэлектроника
В пособии рассмотрены взаимодействие световых потоков с полупроводниковой структурой, режимы обработки, процессы отжига и рекристаллизации поликремниевых и аморфных слоев, отжига и легирования полупроводниковых структур, формирование контактно-металлизационной системы, планаризация, а также получение диэлектрических пленок.
Учебное пособие может быть использовано при подготовке магистров по направлениям 28.04.01 – Нанотехнологии и микросистемная техника, 11.04.03 – Конструирование и технология электронных средств, 11.04.04 – Электроника и наноэлектроника в курсе «Лучевые процессы нанотехнологии».
На нашем сайте вы можете скачать книгу "Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии" Игорь Житяев в формате fb2, rtf, epub, pdf, txt, читать книгу онлайн или купить книгу в интернет-магазине.
