
Жанр: Технические науки, Техническая литература
В практикуме рассматриваются принципы расчета режимов термического окисления, обеспечивающего заданную толщину маскирующей оксидной пленки, и режимов диффузии при формировании легированных слоев с заданными параметрами для кремниевых приборных структур. Излагается методика расчетов в программе Math Cad 2001.
На нашем сайте вы можете скачать книгу "Материалы и элементы электронной техники. Расчет режимов термического окисления и диффузии при формировании легированных слоев" Владимир Астахов в формате pdf, читать книгу онлайн или купить книгу в интернет-магазине.