Жанр: Учебная, методическая литература и словари, Учебная литература
Теги: #нанотехнологии, #технологические процессы, #наноэлектроника
Рассмотрены основные положения физики твёрдого тела и физической химии полупроводников. Основное внимание уделено технологии, соответствующему оборудованию и оснастке, используемым для получения технологического слоя. Приводятся конкретные примеры решения обратных задач по определению технологических режимов получения слоёв с заданными параметрами. Освещены регламентные работы в промышленном производстве. Рассмотрены основные экологические проблемы в промышленных технологиях. Для студентов, обучающихся по специальности «Электроника, радиотехника и системы связи», а также инженеров, занятых проектированием и обслуживанием электронных приборов.
На нашем сайте вы можете скачать книгу "Технологические процессы в микро- и наноэлектронике" Ю. А. Родионов в формате pdf, читать книгу онлайн или купить книгу в интернет-магазине.
