Магнетронные распылительные системы. Часть 1. Устройство, принципы работы, применение
Жанр: Учебная, методическая литература и словари, Учебная литература
Год издания:
2014
Издательство:
МГТУ им. Н.Э. Баумана
Читать онлайн
О книге "Магнетронные распылительные системы. Часть 1. Устройство, принципы работы, применение"
Рассмотрены устройство, принцип работы и основные характеристики магнетронных распылительных систем (МРС). Изложены физические процессы и особенности работы МРС. Перечислены основные типы и конструктивные схемы МРС.
Дан пример конструкции МРС с электромагнитной системой. Для студентов старших курсов, обучающихся по специальности «Плазменные энергетические установки», а также для аспирантов и инженеров, занимающихся разработкой и конструированием МРС. На нашем сайте вы можете скачать книгу "Магнетронные распылительные системы. Часть 1. Устройство, принципы работы, применение" Дмитрий Духопельников в формате pdf, читать книгу онлайн или купить книгу в интернет-магазине.
Подборки книг
Популярные книги жанра «Учебная литература»
Информация обновлена: