Нанотехнологии и микромеханика. Часть 6. Базовые технологические процессы микросистемной техники
Жанр: Учебная, методическая литература и словари, Учебная литература
Год издания:
2013
Издательство:
МГТУ им. Н.Э. Баумана
Читать онлайн
О книге "Нанотехнологии и микромеханика. Часть 6. Базовые технологические процессы микросистемной техники"
Рассмотрены основные технологические процессы производства элементов микросистемной техники с точки зрения физических явлений.
Обобщены результаты, полученные при выращивании монокристаллов, а также в процессах диффузии, имплантации, литографии и др. Для студентов МГТУ им. Н.Э. Баумана, изучающих курс «Микросистемная техника». На нашем сайте вы можете скачать книгу "Нанотехнологии и микромеханика. Часть 6. Базовые технологические процессы микросистемной техники" Светлана Козубняк в формате pdf, читать книгу онлайн или купить книгу в интернет-магазине.
Подборки книг
Популярные книги жанра «Учебная литература»
Информация обновлена: