Часть первая: Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование. Дано представление об основных маршрутах изготовления и конструкциях изделий микроэлектроники на...
Часть вторая. Элементы и маршруты изготовления кремниевых ИС и методы их математического моделирования. Дано представление об основных маршрутах изготовления и конструкциях изделий микроэлектроники...
