Жанр: № 596 в Технические науки, № 193 в Техническая литература
Теги: #книги для студентов и аспирантов, #математическое и компьютерное моделирование, #полупроводники, #микросхемы
Часть первая: Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование. Дано представление об основных маршрутах изготовления и конструкциях изделий микроэлектроники на основе кремния. Рассмотрены основные процессы создания интегральных схем: химическая и плазмохимическая обработка материала; введение примесей в кремний; выращивание окисла кремния и его охлаждение; литография; создание металлических соединений и контактов. Приведены методы моделирования процессов распределения примесей в полупроводниковых структурах. Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов. Может быть использовано также специалистами, работающими в данной области.
На нашем сайте вы можете скачать книгу "Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. Часть 1" М. А. Королев в формате pdf, читать книгу онлайн или купить книгу в интернет-магазине.
