Жанр: Технические науки, Техническая литература
В учебном пособии рассматриваются закономерности изменения параметров тонкопленочных гетерокомпозиций материалов электронной техники при воздействии электронных, ионных потоков и низкотемпературной плазмы для микро- и наноразмерных устройств с улучшенными характеристиками. Цель данного пособия – формирование современных представлений и достижений в области микро- и наноиндустрии.
На нашем сайте вы можете скачать книгу "Элионная технология в микро- и наноиндустрии" Аскер Кушхов в формате pdf, читать книгу онлайн или купить книгу в интернет-магазине.
