
Жанр: Технические науки, Техническая литература
В учебном пособии рассматриваются в основном практические результаты по изменению параметров приповерхностных слоев материалов электронной техники ионным внедрением примесей. Приводятся результаты по особенностям распределения внедренной примеси в аморфных и кристаллических материалах и их теоретическое обоснование. Анализируются результаты по легированию приповерхностных слоев с использованием так называемых атомов отдачи при ионном внедрении.
На нашем сайте вы можете скачать книгу "Элионная теория в микро- и наноиндустрии. Ускоренные ионы" Аскер Кушхов в формате pdf, читать книгу онлайн или купить книгу в интернет-магазине.