Жанр: Учебная, методическая литература и словари, Учебная литература
Теги: #книги для студентов и аспирантов, #инженерно-техническая деятельность, #конструирование оборудования, #физика плазмы
Рассмотрены устройство, принцип работы и основные характеристики магнетронных распылительных систем (МРС). Изложены физические процессы и особенности работы МРС. Перечислены основные типы и конструктивные схемы МРС. Дан пример конструкции МРС с электромагнитной системой. Для студентов старших курсов, обучающихся по специальности «Плазменные энергетические установки», а также для аспирантов и инженеров, занимающихся разработкой и конструированием МРС.
На нашем сайте вы можете скачать книгу "Магнетронные распылительные системы. Часть 1. Устройство, принципы работы, применение" Дмитрий Духопельников в формате pdf, читать книгу онлайн или купить книгу в интернет-магазине.
