Жанр: Учебная, методическая литература и словари, Учебная литература
Теги: #учебное пособие для студентов, #нанотехнологии, #конструирование оборудования
Рассмотрены основные технологические процессы производства элементов микросистемной техники с точки зрения физических явлений. Обобщены результаты, полученные при выращивании монокристаллов, а также в процессах диффузии, имплантации, литографии и др. Для студентов МГТУ им. Н.Э. Баумана, изучающих курс «Микросистемная техника».
На нашем сайте вы можете скачать книгу "Нанотехнологии и микромеханика. Часть 6. Базовые технологические процессы микросистемной техники" Светлана Козубняк в формате pdf, читать книгу онлайн или купить книгу в интернет-магазине.
