Жанр: Технические науки, Техническая литература
Теги: #нанотехнологии
В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделий микроэлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять характер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии и оборудования. Для студентов вузов, изучающих процессы микро– и наноэлектроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики.
На нашем сайте вы можете скачать книгу "Процессы плазменного травления в микро– и нанотехнологиях. Учебное пособие" А. И. Мочалов бесплатно и без регистрации в формате pdf, читать книгу онлайн или купить книгу в интернет-магазине.
