Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы
О книге "Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы"
В нем рассматриваются основы физики взаимодействия ускоренных низкоэнергетических ионов с твердым телом, практические возможности использования эффектов ионного воздействия для получения и травления микро- и наноразмерных пленочных
гетерокомпозиций. Приводится методика расчета параметров различных технологических ионно-плазменных процессов обработки тонких пленок и покрытий. Дается методика определения экспериментальных параметров процессов осаждения и травления на реальных промышленных установках. На нашем сайте вы можете скачать книгу "Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы" Аскер Кушхов в формате pdf, читать книгу онлайн или купить книгу в интернет-магазине.
Подборки книг
Другие книги автора
Информация обновлена: